WIDE VMU-HR 明视场用物镜三丰MITUTOYO
三丰MITUTOYO目镜物镜
378-800-12 378-801-12 378-802-6
378-807-3 378-803-3 378-804-3 378-805-3 378-806-3 378-787-16 378-788-15
378-814-4 378-815-4 378-810-3 378-811-15 378-813-3 378-847
378-848-3 378-831-12 378-832-7 378-830-7 378-833-7 378-834-7
378-835-7 378-836-7 378-822-5 378-823-15 378-824-16 378-825-16 378-826-15 378-867-5 378-868-5 378-863-5 378-864-15 378-821-16 378-827-16 378-828-16 378-829-16 378-754-15 378-869-5 378-870-15 378-809-5 378-817-8 378-818-8 378-819-15 378-888-6 378-890-8 378-820-8 378-891-6 378-844-15 378-837-8 378-838-8 378-839-5 378-892-8 378-893-8 375-036-2 375-037-1
375-034-1 375-039 375-051 375-052 375-053 375-031 375-032 375-033 970208 970209 378-010 378-008 378-009
VMU系列提供各种小型、轻便的显微镜单元，可集成到从小型到大型的自动光学检测设
备 (AOI) 和维修设备中 可安装数码相机，通过外部显示器进行观察和拍摄。可实现横
向水平、上下颠倒等高自由度的固定方法。与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微
镜使用。金属、树脂、印刷面等表面观察拍摄
微量流体分析用光学系统
以观察和分析细胞、微生物等为目的的光学系统
通过与本公司制M Plan Apo NIR系列等支持红外区的物镜组合，可在红外线下实现可见
光下做不到的非破坏性检查。
液晶薄膜、硅基板等的厚度测量
MEMS内部的非破坏评价、3D安装评价
半导体封装(IC)的内部观察、晶圆键合空洞评价传感器
红外分光特性分析
通过与YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物镜组合，可实现高精度、高品质加工
。
与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。
保护膜、有机薄膜等的剥离
金、铝等金属配线切割、下层图案的外露
FPD的各种缺陷修复
光掩模修复
标记、修剪、图像形成、局部退火、划线
此外还支持飞秒激光等各种激光(详情请咨询本公司)
使用VMU-L4B进行的UV激光加工
通过VMU-LB和固定倍率观察用相机卡口的组合，能够对同一位置以不同倍率同时观察。
(低倍率侧：2/3型、高倍率侧：1/2型等)
紧凑、轻巧的相机观察专用显微镜(适用于金属、树脂、印刷表面、微小运动物体等各
种观察对象。)
·适用于使用YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)的微细加工
(半导体电路的切割、修整、修复、打标、薄膜(绝缘膜)的去除和加工、液晶彩色滤光
片等的修复等。)
·适用于红外光学系统
·反射照明光学系统标配带孔径光阑远心照明(非常适合需要均匀照明的图像处理。可
用于尺寸测量、形状检查、定位等。)
VMU-LB和VMU-L4B强化了显微镜主体的刚性和综合性能(与以往产品相比)
除标准规格外，还可按照需求设计制作双相机、双倍率(低倍率、高倍率)等产品
1：不保证激光振荡器配备系统的综合性能和安全性。
2：另需红外光源和红外摄像机等。
设备集成用显微镜
VMU
显微镜单元
FS70
明视场用物镜(长工作距离)
M Plan Apo
明视场用物镜(玻璃厚度校正)
G Plan Apo
明暗视场用物镜(长工作距离)
BD Plan Apo
明视场用物镜(近红外区)
M Plan Apo NIR
明视场用物镜(液晶玻璃厚度校正 近红外区)
LCD Plan Apo NIR
明视场用物镜(近紫外区)
M Plan Apo NUV
明视场用物镜(液晶玻璃厚度校正 近紫外区)
LCD Plan Apo NUV
M Plan UV
明视场用物镜(液晶紫外区)
LCD Plan UV
成像(镜筒)透镜
测量显微镜用物镜
定心显微镜用物镜
大视场目镜
各种显微镜选件
支架、工作台、照明装置
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