日本MIKASA旋转涂布机 旋涂机MS-B200：
光刻.com处理旋涂机、掩模对准机和实验室机器，用于开发和蚀刻研究。
我们还处理各种测量机，用于薄膜厚度测量，步差，线宽和形状测量。
日本MIKASA旋转涂布机 旋涂机MS-B200：
■ 採用AC伺服電動機
● 無刷式，不會造成無塵室汚染。
● 減少電動機發熱，也減少因連續使用時的温度上昇造成對膜厚再現性的影響。
● 電力消費低，減低環境的負擔。
■ 擴張程式功能
● 多有100階段程式、可記憶10種模式，更容易使用。
■ 所有機型皆標準配備數位式真空計
■ 方形基板等可設定停止時位置，超方便
■ 安全裝置機構(真空壓及蓋子)
● 由於薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時，可以變更安全裝置機構（真空）的稼動壓力。
型號 | MS-B100 | MS-B150 | |
基板尺寸 | MAX | MAX | |
旋轉數 | 50~7,500rpm | 50~7,000rpm | |
旋轉精度 | ±1rpm | ±1rpm | |
蓋子 | 壓克力 | 壓克力 | |
安全裝置 | 蓋子 | 選配 | 選配 |
真空 | ○ | ○ | |
滴下裝置 | 不可裝配 | 選配 | |
使用真空源 | -0.08~0.1MPa | -0.08~0.1MPa | |
電源 | AC100~110V 50/60Hz 5A | AC100~110V 50/60Hz 5A | |
外形尺寸(mm) | 260W×230H×330D | 360W×302H×435D | |
外觀 |
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4inch(75×75mm)
型號 | MS-B200 | MS-B300 | |
基板尺寸 | MAX | MAX12inch(200×200mm) | |
旋轉數 | 50~5,000rpm | 20~5,000rpm | |
旋轉精度 | ±1rpm | ±1rpm | |
蓋子 | PC | PC | |
安全裝置 | 蓋子 | ○ | ○ |
真空 | ○ | ○ | |
滴下裝置 | 選配 | 選配 | |
使用真空源 | -0.08~0.1MPa | -0.08~0.1MPa | |
電源 | AC100~110V 50/60Hz 5A | AC200~240V 單相 5A | |
外形尺寸(mm) | 503W×350H×580D | 545W×381H×702D | |
外觀 |
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