日本MIKASA旋转涂布机MS-A150/MS-B150
日期：2023-02-17 人气：136 收藏
MIKASA 旋转涂布机 MS-A150/MS-B150
日本MIKASA旋转涂布机MS-A150/MS-B150：
光刻.com处理旋涂机、掩模对准机和实验室机器，用于开发和蚀刻研究。
我们还处理各种测量机，用于薄膜厚度测量，步差，线宽和形状测量。
日本MIKASA旋转涂布机MS-A150/MS-B150产品规格：
| 最大电路板尺寸 | φ6英寸晶圆或100×100mm基板 |
| 速度（转/分） | 20~7，000 |
| 旋转精度 | ±1转/分（负载时） |
| 发动机 | 交流伺服电机 |
| 盖 | 丙烯酸 |
| 旋转室直径 | φ290毫米 |
| 步进模式数 | 100 步× 10 种模式 |
| 时间设置 | 999.9秒 |
| 安全联锁 | 真空标准 盖可选 |
| 滴水装置 | 选择 |
| 使用的真空压力 | -0.08~-0.1兆帕 |
| 权力 | 交流100~240V 5A |
| 外部尺寸（毫米） | 352W×303H×432D |
| 重量 | 16公斤 |
