日本MIKASA旋转涂布机 旋涂机MS-B100
日期：2023-02-17 人气：201 收藏
日本MIKASA旋转涂布机 旋涂机MS-B100用途：
光刻.com处理旋涂机、掩模对准机和实验室机器，用于开发和蚀刻研究。
我们还处理各种测量机，用于薄膜厚度测量，步差，线宽和形状测量。
φ4英寸晶圆，75×75mm板兼容型号
日本MIKASA旋转涂布机 旋涂机MS-B100用途：
| 最大电路板尺寸 | φ4英寸晶圆或75×75mm基板 |
| 速度（转/分） | 20~8，000 |
| 旋转精度 | ±1转/分（负载时） |
| 发动机 | 交流伺服电机 |
| 盖 | 丙烯酸 |
| 旋转室直径 | φ220毫米 |
| 步进模式数 | 100 步× 10 种模式 |
| 时间设置 | 999.9秒 |
| 安全联锁 | 真空标准 盖可选 |
| 滴水装置 | 不可连接 |
| 使用的真空压力 | -0.08~-0.1兆帕 |
| 权力 | 交流100~240V 5A |
| 外部尺寸（毫米） | 259W×246H×330D |
| 重量 | 10公斤 |
